2015年第62回応用物理学会春季学術講演会

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一般セッション(口頭講演)

13 半導体 » 13.4 Siプロセス・配線・MEMS・集積化技術

[11a-A29-1~13] 13.4 Siプロセス・配線・MEMS・集積化技術

2015年3月11日(水) 09:00 〜 12:30 A29 (6A-204)

09:15 〜 09:30

[11a-A29-2] 超臨界CO2流体中における金属薄膜のエッチング

〇(M1)中村 良輝1、渡邉 満洋1、近藤 英一1、ミハイル バクラノフ2 (1.山梨大, 2.IMEC)

キーワード：超臨界流体、エッチング、磁性薄膜