[11a-A29-1~13] 13.4 Siプロセス・配線・MEMS・集積化技術

[11a-A29-3] Auナノチャネルのエレクトロマイグレーションによる質量輸送過程のIn-Situ AFM観察

〇八木 麻実子¹、齋藤 孝成¹、白樫 淳一¹ (1.東京農工大学院工)

キーワード：エレクトロマイグレーション、原子間力顕微法、ナノワイヤ