[11a-D8-1~10] 6.4 薄膜新材料

[11a-D8-6] 二次元非熱平衡プラズマを利用したSnO₂薄膜の形成

金指 翔大¹、花井 利通¹、丹 祐人¹、〇奥谷 昌之^{1, 2} (1.静岡大院工, 2.静岡大グリーン研)

キーワード：沿面放電、プラズマ、酸化スズ