13:15 〜 13:45
[11p-B2-1] [ビーム応用 分科内招待講演] 易液化ガスPFPを用いたナノインプリント
キーワード：ナノインプリント、ペンタフルオロプロパン、PFP
講演情報
一般セッション(口頭講演)
7 ビーム応用 » 7.3 微細パターン・微細構造形成技術
[11p-B2-1~11] 7.3 微細パターン・微細構造形成技術
2015年3月11日(水) 13:15 〜 16:30 B2 (6B-102)
一般セッション(口頭講演)
7 ビーム応用 » 7.3 微細パターン・微細構造形成技術
2015年3月11日(水) 13:15 〜 16:30 B2 (6B-102)
13:15 〜 13:45
キーワード：ナノインプリント、ペンタフルオロプロパン、PFP