[11p-B2-1~11] 7.3 微細パターン・微細構造形成技術

[11p-B2-11] 光ナノインプリント-原子層堆積法によるナノ造形 (II) ～ALD装置の構築と樹脂表面への成膜検討～

〇(B)畔柳 志帆¹、廣芝 伸哉¹、中川 勝¹ (1.東北大多元研)

キーワード：光ナノインプリント、原子層堆積