[11p-B2-1~11] 7.3 微細パターン・微細構造形成技術

[11p-B2-3] 誘導自己組織化リソグラフィへ向けたPS-b-PMMAのミクロ相分離構造の高速形成挙動

〇廣芝 伸哉¹、大窪 諒¹、服部 梓²、田中 秀和²、中川 勝¹ (1.東北大多元研, 2.阪大産研)

キーワード：ブロック共重合体、誘導自己組織化