[11p-B2-1~11] 7.3 微細パターン・微細構造形成技術

[11p-B2-5] ナノインプリントにおける離型力のモールド側壁傾斜角依存性Ⅰ

植村 公亮¹、藤井 一緒¹、ミカロフスキ マーチン²、〇(M1C)栩野 貴充¹、中村 直人¹、川田 博昭¹、リムザ ジグムント²、平井 義彦¹ (1.大阪府大院工, 2.ワルシャワ工科大)

キーワード：熱ナノインプリント、光ナノインプリント、モールド・マスク