[11p-B2-1~11] 7.3 微細パターン・微細構造形成技術

[11p-B2-9] 光ナノインプリント成形体の残膜厚均一化に向けたスクリーン印刷法による光硬化性組成物の吐出量制御

〇(M1)田辺 明¹、上原 卓也¹、永瀬 和郎²、池戸 裕明²、廣芝 伸哉¹、中川 勝¹ (1.東北大多元研, 2.ミノグループ)

キーワード：光ナノインプリント、スクリーン印刷