2015年第62回応用物理学会春季学術講演会

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シンポジウム(口頭講演)

シンポジウム » 最先端の電子・集束イオンビーム装置技術

[11p-B3-1~9] 最先端の電子・集束イオンビーム装置技術

2015年3月11日(水) 13:15 〜 17:15 B3 (6B-103)

15:00 〜 15:30

[11p-B3-5] 最先端の電子ビーム(EB)直接描画技術

〇小澤 寛司1、桒野 靖久1、星 浩利1、駒形 正1 (1.日本電子)

キーワード：電子ビーム描画