[11p-B5-1~9] 最先端CMOS技術とその将来展望

[11p-B5-7] シリコントライゲートナノワイヤトランジスタにおける特性ばらつき・電流ノイズ・閾値電圧シフトの系統的理解

〇齋藤 真澄¹、太田 健介¹、田中 千加¹、松下 大介¹、沼田 敏典¹ (1.東芝研開セ)

キーワード：ナノワイヤトランジスタ、トライゲート、シリコン