[11p-D1-1~17] 合同セッションＫ ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス

[11p-D1-1] [講演奨励賞受賞記念講演] クリティカルレイヤーを用いたスパッタAl添加ZnO透明電導電膜のキャリア輸送制御 (Ⅱ)

〇野本 淳一¹、牧野 久雄¹、山本 哲也¹ (1.高知工科大総研)

キーワード：透明導電膜、酸化亜鉛