2015年第62回応用物理学会春季学術講演会

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一般セッション(口頭講演)

15 結晶工学 » 15.5 IV族結晶,IV-IV族混晶

[11p-D7-1~14] 15.5 IV族結晶,IV-IV族混晶

2015年3月11日(水) 13:30 〜 17:15 D7 (16-207)

14:45 〜 15:00

[11p-D7-6] レーザーアニールによるGe薄膜結晶化の熱拡散シミュレーション

〇仁枝 嘉昭1、堀田 昌宏1、高尾 透1、石河 泰明1、浦岡 行治1 (1.奈良先端大)

キーワード:ゲルマニウム、レーザー、シミュレーション