[11p-P2-1~15] 15.6 IV族系化合物

[11p-P2-14] レーザアニールを用いたp型4H-SiCへのオーミックコンタクト形成

〇中西 洋介¹、岡部 博明¹、中村 勇¹、田口 健介¹、須賀原 和之¹、冨田 信之¹、山川 聡¹ (1.三菱電機 先端総研)

キーワード：炭化けい素、オーミックコンタクト、レーザアニール