[12a-C1-1~10] 6.2 カーボン系薄膜

△ [12a-C1-4] トレンチチャネルを有する C-H ダイヤモンド MOSFET

〇斎藤 俊輝¹、小林 幹典¹、山田 哲也¹、許 德琛¹、北林 祐哉¹、松村 大輔¹、坪井 秀俊¹、稲葉 優文¹、平岩 篤¹、川原田 洋¹ (1.早大)

キーワード：ダイヤモンド、FET