[12a-P12-1~7] 13.3 絶縁膜技術

[12a-P12-1] MONOS型メモリにおける絶縁膜中の原子欠陥に関する第一原理計算

〇白川 裕規¹、洗平 昌晃²、神谷 克政³、白石 賢二² (1.筑波大院数理, 2.名大院工, 3.神奈工大)

キーワード：MONOS、第一原理計算