[12a-P12-1~7] 13.3 絶縁膜技術

[12a-P12-2] 定電流キャリヤ注入法を用いたMONOS構造の正孔捕獲特性の評価

〇(M1)田中 伸¹、内藤 慎二¹、小林 清輝¹ (1.東海大院工)

キーワード：MONOS、シリコン窒化膜、正孔捕獲