[12a-P12-1~7] 13.3 絶縁膜技術

[12a-P12-5] 欠損を含むシリコン酸化膜中のアンモニア分子の透過

〇奥 友希¹、戸塚 正裕¹、志賀 俊彦¹、渡辺 斉¹ (1.三菱電機　波光電)

キーワード：耐湿性、シリコン酸化膜、分子軌道計算