2015年第62回応用物理学会春季学術講演会

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一般セッション(口頭講演)

15 結晶工学 » 15.8 結晶評価,不純物・結晶欠陥

[12p-A18-1~18] 15.8 結晶評価,不純物・結晶欠陥

2015年3月12日(木) 14:00 〜 19:00 A18 (6A-208)

16:00 〜 16:15

[12p-A18-8] 自己拡散や成長欠陥研究から求められたシリコン中の点欠陥の性質

〇末澤 正志1、飯島 嘉明1、深田 直樹2、米永 一郎1 (1.東北大金研, 2.物材機構)

キーワード:点欠陥、自己拡散、成長欠陥