[12p-A18-1~18] 15.8 結晶評価，不純物・結晶欠陥

[12p-A18-8] 自己拡散や成長欠陥研究から求められたシリコン中の点欠陥の性質

〇末澤 正志¹、飯島 嘉明¹、深田 直樹²、米永 一郎¹ (1.東北大金研, 2.物材機構)

キーワード：点欠陥、自己拡散、成長欠陥