[12p-A27-1~15] 13.1 Si系基礎物性・表面界面・シミュレーション

[12p-A27-8] 次世代TCAD(2) 3次元デバイスシミュレータによるCMOSインバータチェーンの一括過渡解析

〇原田 昌紀¹、桑原 匠史¹、大倉 康幸¹、山口 憲¹、小池 秀耀¹ (1.アドバンストソフト)

キーワード：デバイスシミュレーション、インバータ、CMOS