[12p-C1-1~18] 6.2 カーボン系薄膜

△ [12p-C1-12] 軟X線照射によるSi含有水素化DLC膜の体積変化

〇田中 祥太郎¹、今井 亮¹、岡田 真¹、松井 真二¹、神田 一浩¹ (1.兵庫県大高度研)

キーワード：Si-DLC、軟X線、体積変化