[12p-P10-1~8] 8.3 プラズマ成膜・表面処理

[12p-P10-3] リング状ホロー電極型高密度容量結合プラズマの溝深さの影響

〇大津 康徳¹、松本 直樹¹ (1.佐大院工)

キーワード：スパッタ、機能性薄膜