[13a-B1-1~17] 15.4 III-V族窒化物結晶

[13a-B1-10] Si / SiO₂ / GaN系LED基板上への微小LEDの作製

〇土山 和晃¹、宇都宮 脩¹、山根 啓補¹、関口 寛人¹、岡田 浩^{1, 2}、若原 昭浩¹ (1.豊技大工, 2.豊技大エレクトロニクス先端融合研究所)

キーワード：ウェハ接合