[13a-B4-1~10] 15.6 IV族系化合物

[13a-B4-3] 4H-SiC酸化の第一原理／古典的分子動力学シミュレーション

〇山崎 隆浩^{1, 2}、田島 暢夫^{1, 2}、金子 智昭^{1, 2}、西川 宜孝³、清水 達雄⁴、加藤 弘一⁴、大野 隆央^{1, 2, 5} (1.物材機構, 2.高効率電デバコンソ, 3.みずほ情報総研, 4.東芝研究開発センター, 5.東大生産研)

キーワード：パワーデバイス、酸化、SiC