[13a-B4-1~10] 15.6 IV族系化合物

[13a-B4-5] リモートH₂プラズマ処理した4H-SiC表面の化学構造および電子状態分析

〇グェンスァン チュン¹、大田 晃生²、竹内 大智¹、張 海¹、牧原 克典¹、宮崎 誠一¹ (1.名大院工, 2.名大VBL)

キーワード：4H-SiC