[13a-B4-1~10] 15.6 IV族系化合物

△ [13a-B4-7] カソードルミネッセンス法による熱酸化SiO₂/SiC界面欠陥の検出

〇福島 悠太¹、チャンタパン アタウット¹、永井 大介¹、細井 卓治¹、志村 考功¹、渡部 平司¹ (1.阪大院工)

キーワード：シリコンカーバイド、カソードルミネッセンス法、酸化膜