2015年第62回応用物理学会春季学術講演会

講演情報

一般セッション(ポスター講演)

合同セッションK ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス » 合同セッションK ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス(ポスター)

[13a-P18-1~22] 合同セッションK ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス(ポスター)

2015年3月13日(金) 09:30 〜 11:30 P18 (総合体育館)

09:30 〜 11:30

[13a-P18-20] In-Ga-Zn-O薄膜トランジスタにおけるパッシベーション膜の効果 ~フッ素含有酸化シリコン・酸化シリコン/窒化シリコン積層パッシベーション~

〇辰岡 玄悟1、Jingxin Jiang1、Dapeng Wang1, 2、古田 守1, 2 (1.高知工大環境理工, 2.高知工大総研)

キーワード:TFT、IGZO、フッ素