[13p-P17-1~24] 13.8 化合物及びパワー電子デバイス・プロセス技術

[13p-P17-19] ノーマリーオフGaN系MOSFETの実現に向けた再成長プロセス

〇井上 恵太¹、成田 知隆¹、分島 彰男¹、江川 孝志¹ (1.名工大)

キーワード：GaN、再成長