[14a-A27-1~15] 8.4 プラズマエッチング

[14a-A27-1] COクラスター照射による磁性体エッチング反応 (2)

〇唐橋 一浩¹、瀬木 利夫²、松尾 二郎²、浜口 智志¹ (1.阪大院工, 2.京大院工)

キーワード：クラスター、MRAM