[14a-A27-1~15] 8.4 プラズマエッチング

[14a-A27-11] Cu配線Layoutに依存した新たなLow-kプラズマダメージモデル

〇池田 太郎¹、江利口 浩二²、谷原 聡¹、山本 伸彦¹、河西 繁¹、斧 髙一² (1.東京エレクトロン山梨, 2.京大院工)

キーワード：プラズマ照射ダメージ、low-k ダメージ、近接場光