[14a-A27-1~15] 8.4 プラズマエッチング

[14a-A27-13] ウエハ面内入射イオンエネルギー分布制御によるエッチングレート分布制御技術の開発

〇荒巻 徹¹、森本 未知数¹、池田 紀彦¹ (1.日立ハイテク)

キーワード：エッチング