[14a-A27-1~15] 8.4 プラズマエッチング

△ [14a-A27-15] プラズマエッチング中の剥離パーティクルの突発的多量発生

〇笠嶋 悠司¹、本村 大成¹、上杉 文彦¹ (1.産総研)

キーワード：剥離パーティクル、電場応力、撃力