2015年第62回応用物理学会春季学術講演会

講演情報

一般セッション(口頭講演)

15 結晶工学 » 15.6 IV族系化合物

[14a-B4-1~13] 15.6 IV族系化合物

2015年3月14日(土) 09:00 〜 12:30 B4 (6B-104)

09:30 〜 09:45

[14a-B4-3] TaC/Ta複合材を用いたSiCトレンチ基板のキャップフリーアニール

〇矢吹 紀人1、鳥見 聡1、野上 暁1、金子 忠昭2 (1.東洋炭素(株), 2.関西学院大理工)

キーワード:炭化珪素、活性化アニール