2015年第62回応用物理学会春季学術講演会

講演情報

一般セッション(口頭講演)

15 結晶工学 » 15.6 IV族系化合物

[14a-B4-1~13] 15.6 IV族系化合物

2015年3月14日(土) 09:00 〜 12:30 B4 (6B-104)

09:45 〜 10:00

[14a-B4-4] 大気圧熱プラズマジェット照射急速熱処理の冷却速度制御による4H-SiC中Pの高効率活性化

〇(M2)丸山 佳祐1、花房 宏明1、林 将平1、村上 秀樹1、東 清一郎1 (1.広大院 先端研)

キーワード:半導体、シリコンカーバイド、活性化