[14a-B4-1~13] 15.6 IV族系化合物

[14a-B4-3] TaC/Ta複合材を用いたSiCトレンチ基板のキャップフリーアニール

〇矢吹 紀人¹、鳥見 聡¹、野上 暁¹、金子 忠昭² (1.東洋炭素(株), 2.関西学院大理工)

キーワード：炭化珪素、活性化アニール