[14a-B4-1~13] 15.6 IV族系化合物

[14a-B4-4] 大気圧熱プラズマジェット照射急速熱処理の冷却速度制御による4H-SiC中Pの高効率活性化

〇(M2)丸山 佳祐¹、花房 宏明¹、林 将平¹、村上 秀樹¹、東 清一郎¹ (1.広大院 先端研)

キーワード：半導体、シリコンカーバイド、活性化