[14a-B4-1~13] 15.6 IV族系化合物

[14a-B4-5] 表面に堆積したAl薄膜へのレーザ照射による4H-SiCへのp型ドーピング

〇池田 晃裕¹、角名 陸歩¹、池上 浩¹、浅野 種正¹ (1.九州大学)

キーワード：4H-SiC、レーザドーピング、p型