[14a-D10-1~9] 6.3 酸化物エレクトロニクス

[14a-D10-8] MOD法BaTiO₃薄膜の抵抗変化型メモリ特性向上の検討

〇杉江 敏幸¹、橋本 修平¹、張 子洋¹、山下 馨¹、野田 実¹ (1.京工繊工芸)

キーワード：抵抗変化メモリ、BaTiO3、酸素欠陥