[14p-A29-1~8] 13.4 Siプロセス・配線・MEMS・集積化技術

[14p-A29-2] ミニマル集光加熱炉における温度均一性の改善(II)

〇三浦 典子¹、相澤 洸^{1, 2}、山田 武史^{1, 2}、伊藤 孝宏^{1, 3}、遠江 栄希¹、池田 伸一^{1, 4}、石田 夕起^{1, 4}、三ケ原 孝則¹、大西 康弘^{1, 2}、クンプアン ソマワン^{1, 4}、原 史朗^{1, 4} (1.ミニマルファブ, 2.米倉製作所, 3.オリエンタルモーター, 4.産総研)

キーワード：ミニマル、熱酸化、加熱炉