13:30 〜 15:30 [14p-P10-19] SnO2の室温原子層堆積法の開発と反応評価 〇野老 健太郎1、齊藤 俊介1、鹿又 健作1、三浦 正範1、有馬 ボシールアハンマド1、久保田 繁1、廣瀬 文彦1 (1.山大院理工)