10:30 〜 10:45 △ [13a-B9-7] ITO炭化水素プラズマエッチングにおける水素イオン照射の化学的効果 〇李 虎1、唐橋 一浩1、深沢 正永2、長畑 和典2、辰巳 哲也2、浜口 智志1 (1.阪大院工、2.ソニー)