17:15 〜 17:30
〇三木 一司1,2、村田 晃一1,2、Kirkham Christopher2,3,4、David Bowler3,4 (1.物材機構、2.筑波大数物、3.LCN、4.UCL)
三木 一司
発表者・著者、共著者
2016年9月14日(水) 12:30 〜 19:15 B7 (展示ホール内)
- シンポジウム(口頭講演)
- | シンポジウム
- | IV族半導体薄膜の結晶化と欠陥制御
2016年9月14日(水) 13:30 〜 15:30 P5 (展示ホール)
- 一般セッション(ポスター講演)
- | 13 半導体
- | 13.4 Si系プロセス・Si系薄膜・配線・MEMS・集積化技術
13:30 〜 15:30
〇三木 一司1,2、村田 晃一1,2、金澤 孝1,2、田中 博也3、日塔 光一1,2、大野 真也3、田中 正俊3 (1.物材機構、2.筑波大数物、3.横国大院)