16:00 〜 16:15 [16p-B10-9] ウェハ裏面からレーザ照射できるミニマルレーザ加熱装置を用いたp-MOSトランジスタの特性 〇佐藤 和重1、千葉 貴史1,3、寺田 昌男1,3、池田 伸一1,2、クンプアン ソマワン1,2、原 史朗1,2 (1.ミニマルファブ技術研究組合、2.産総研、3.坂口電熱)