09:30 〜 11:30 [14a-P2-9] CF4・O2混合ガスを用いたドライエッチングによるポリマー側面ラフネス改善と表面プラズモン共鳴センサの高感度化 〇(M1)丹所 祐貴1、小沼 将大1、松島 裕一2、石川 浩1、宇髙 勝之1 (1.早大理工、2.GCS研究機構)