11:15 〜 11:30 [16a-A22-9] α-(AlxGa1-x)2O3薄膜のドライエッチングの特性 〇内田 貴之1、中村 昌幸2、金子 健太郎1、神野 莉衣奈1、小林 貴之2、本山 慎一2、藤田 静雄1 (1.京大院工、2.サムコ株式会社)