09:45 〜 10:00 [13a-A31-4] ZnO/glass上への反応性スパッタ法によるVO2薄膜の低温成長と特性評価 〇佐藤 賢太1、星野 寛明1、モハメッド シュルズ ミヤ1、沖村 邦雄1 (1.東海大院工)