16:00 〜 18:00 [13p-P7-3] VHFプラズマを用いた可視光応答性光触媒NbON薄膜合成 〇村瀬 英昭1、宮部 美紗1、永井 久雄1、菊地 諒介1、中村 透1、羽藤 一仁1 (1.パナソニック株式会社)