09:15 〜 09:30 △ [15a-A21-2] Naフラックス法におけるサファイア溶解による低反りGaNウエハの作製 〇(M2)山田 拓海1、今西 正幸1、中村 幸介1、村上 航介1、今林 弘毅1、本城 正智1、丸山 美帆子1、今出 完1、吉村 政志1、森 勇介1 (1.阪大院工)