11:45 〜 12:00 [15a-C302-11] 三フッ化塩素ガスによる炭化珪素表面における炭素膜の形成と除去 廣岡 亜純1、〇羽深 等1、高橋 至直2、加藤 智久3 (1.横国大院工、2.関東電化工業、3.産総研)