14:45 〜 15:00 △ [15p-B3-5] β-FeSi2/Siナノ混合相の酸化プロセス の拡散解析 〇有馬 幹尋1、淵 雅也1、鳴海 一雅2、前田 佳均1,2 (1.九工大院情報工、2.量研機構量子ビーム)